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    [分享]一種針對超大口徑凸非球面的面形檢測方法 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發表于: 2019-11-08
    關鍵詞: 非球面面形
    摘要:本文提出了一種改良的檢測方法用于實現對超大口徑凸非球面反射鏡進行高精度面形檢測。該方法利用計算機再現全息和照明透鏡混合補償,實現對超大口徑凸非球面的高精度檢測。首先,對該方法的基本原理進行了分析和研究;然后,以一塊口徑為800 mm的超大口徑凸非球面為例,進行了子孔徑規劃和檢測光路中相關光學元件的設計;最后,以中心子孔徑為例,系統分析了該檢測裝置的敏感度。仿真實驗結果表明:計算全息補償器的設計殘差均方根值小于0.001 3 nm,該檢測系統的綜合檢測精度可以優于6 nm RMS。結果表明該檢測系統滿足超大口徑凸非球面反射鏡高精度面形檢測的要求。 %ofq  
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